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送禮◎作者於1989年,以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年,以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。
◎圖解乾蝕刻技術的原理與實務,讓你一讀即懂。
◎由製程直到設備、新技術,更進一步設置有關電漿損傷的章節,以便理解全貌並了解乾蝕刻今後的課題與展望。


針對半導體乾蝕刻技術涉及的電漿物理、化學、材料、電磁等複雜現象,循序解析,詳解各環節的連帶影響,提升現場即時應變的作戰能力,為優秀工程師養成必備的工具書!
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非等向性蝕刻是如何實現?為何Si的蝕刻使用Cl2及HBr,而SiO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體?為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP(電感耦合式電漿)之類的高密度電漿,而SiO2的蝕刻則使用中密度電漿於間距狹窄的平行板型蝕刻機?

本書告訴你這些連現場資深乾蝕刻工程師都不見得充分理解的知識。
特價產品>好康平台網路熱銷產品暢銷排行 從乾蝕刻技術的基礎講到應用,讓初學者容易理解與整理;對於已有程度、經驗的工程師而言,讀之更加能理解、掌握乾蝕刻技術的全貌。

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商品訊息簡述:

  • 譯者: 倪志榮
  • 出版社:白象文化   
    新功能介紹
  • 出版日期:2015/03/01
  • 語言:繁體中文


 


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下面附上一則新聞讓大家了解時事



傳華為限制內部與美交往 遣送美國員工 | 各大廠封殺華為 | 數位 | 聯合新聞網
華為已下令員工取消與美國聯絡人的技術會議、限制員工與美國人工作來往,並將其在深圳總部工作的美國員工送回美國。 聯合報系記者王騰毅/攝影 分享 facebook 英國金融時熱銷報報導,中國電訊設備商華為已經下令員工取消與美國聯絡人的技術會議、限制員工與美國人工作來往,並將人氣商品網友一致推薦其在深圳總部工作的美國員工送回美國。報導引述華為首席戰略架構師黨文栓表示,在川普政府將華為及其68家關聯企業列入黑名單後,在華為總部從事研發工作的美國公民已經於兩週前被送回了美國。. } }); } 華為這項決定公布相當突然,報導說,這使一個正在進行的研討會被倉促解散,美國代表被要求交出筆記型電腦、關閉網路並離開華為辦公區。由於美國要求供應商必須獲得政府許可證,才能向華為出售零組件。華為還花了數天時間對其在中國和美國的辦事處彼此溝通的方式進行重大調整,以確保所有的互動都符合出口管制實體清單(Entity List)。黨文栓說,華為還在更廣泛地限制員工與任何美國公民之間的交往。報導說,華為一直在檢查來其園區參觀的外國遊客是否持有美國護照,並警告那些持有美國護照的人,他們的私人談話不得涉及任何與技術相關的話題。一名美國公民收到了華為一名長期業務聯絡人發來的訊息,稱將推遲所有聯絡,直到另行通知。訊息中寫道:「由於我方規定,我們不允許與美國公民會面討論與技術相關的事務。」Holland & Knight律師事務所合夥人庫魯休斯(Eric Crusius)認為,將美國和中國業務分離可能可以孤立優惠專區流行美國業務,但從另一個角度看,「華為似乎正在把自己與世百貨優惠快速到貨網拍界其他地區隔絕開來。」


 克蕭8局0失分 道奇勝勇士聽牌


(中央社記者李晉緯台北6日綜合報導)美國職棒大聯盟洛杉磯道奇先發投手克蕭(Clayton Kershaw)今天投8局0失分,率隊以3比0擊敗亞特蘭大勇士,在季後系列賽以2勝0敗「聽牌」。

美國職棒(MLB)季後賽,5戰3勝的勇士、道奇系列賽,今天在道奇主場進行,賽前已經先拿下1勝的道奇派出王牌克蕭把關,勇士則由本季拿下7勝6敗、防禦率2.83的桑傑士(Anibal Sanchez)迎戰。

克蕭今天先發投8局,送出3次三振、沒有保送,只被擊出2支零星安打無失分,加上後援的簡森(Kenley Jansen)1局無失分表現,兩人聯手「完封」勇士。

進攻上,道奇開路先鋒皮德森(Joc Pederson)今天在1局上半率先敲出二壘安打,馬查多(Manny Machado)在兩出局後轟出兩分打點全壘打,讓道奇一路以2比0領先。

5局葛蘭多(Yasmani Grandal)再敲出陽春砲,終場道奇就以3比0擊敗勇士,在系列賽2勝0負「聽牌」。(編輯:陳怡璇)1071006







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